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2019/03/20 中古機維修項目新增 5-Phase stepping motor driver

5 相步進式馬達驅動器在半導體廠泛用在晶圓載具(SMIF)手臂做為傳輸,運送時可以精確到位, 對於發生wafer drop, 抖動,無法復位等異常情況,在甲元維修項目中,我們會透過控制器產生的脈波數,頻率送至CW, CCW 端來控制搭配之馬達轉動方向,速度及復位狀況模擬上機以提高維修後回廠之良率。